根據（jù）《建設（shè）項目竣工環境保護驗收（shōu）管理辦（bàn）法》、《關於規範建設（shè）單（dān）位自（zì）主開展建設項目竣工（gōng）環境保護驗收的通知（征求意見稿）》、《建設項（xiàng）目竣工環境保護驗收（shōu）技術指（zhǐ）南（nán） 汙染影響類》等有（yǒu）關規定，建設單位於2024年（nián）09月06日組織驗收組踏勘了建設項目現場，對驗收監測報告進行了審（shěn）查，提（tí）出了驗收意見。為更好地做好本項目的環（huán）境保護（hù）工作（zuò），現對該項目竣工環境保護驗收（shōu）報告及驗收意見進行公示（shì）。

一、項目簡介

蘇州（zhōu）長光華芯半導（dǎo）體激光創新研究院有限公（gōng）司（sī）（以下（xià）簡稱公（gōng）司）成立於2018年3月，由蘇（sū）州長光華（huá）芯（xīn）光電技術有限公司（以下簡稱長光華芯光電（diàn）公司）與蘇州高（gāo）新區政府共同創立，位於蘇州高新區科技城漓江路56號，主要進行半導體光電器件及係統的開發研究及生產，包（bāo）括薄膜外延（yán）生長、芯片加工（gōng）、光電器件製（zhì）作、光學模塊、光電係統集成。

半導體激光器是本項目產品之一，又稱激光二極管，是用半導體（tǐ）材料作為工作物質的激光器。它（tā）體積小、壽命長（zhǎng），在激（jī）光通（tōng）信、光存（cún）儲、光（guāng）陀螺、激光打印、測距以及雷達等方（fāng）麵已經獲得了廣泛的應（yīng）用。其（qí）工作原理是通過一（yī）定的激勵方式，在半導體物質的能帶（導帶與價帶）之間，或者半（bàn）導體物質的能帶與雜質（受主或施主）能級之間，實現非平衡載流子的粒子數反轉，當（dāng）處於粒子數反轉狀態（tài）的（de）大量電子與空穴複合時便產生受激（jī）發射作用。高能激光發展的（de）核心之一是半導體（tǐ）激（jī）光器，2017年（nián）半導體激光器中國市場收入較2016年增長15.5%，達（dá）到21.9億美元。中國作為全球最大製造國，我（wǒ）國芯片主要依賴國外進口，特別是在高速光（guāng）通訊、3D傳感等蓬勃發展的領域中。作為全球最大的消費市場，我國對於芯片產業有各種不同的需求，對於低端芯（xīn）片需（xū）求量也非常大，芯片的進口嚴重阻礙了我國的高新技術產業的發展。在（zài）當下（xià）科技競爭的背（bèi）景下（xià），發展芯片產業（yè）具有一（yī）定的緊迫性，過程會很曲折，但是隻有（yǒu）將核“芯”技術掌握在自己手（shǒu）中（zhōng）才是硬道理。為了解決我國高（gāo）功（gōng）率半導體激光器芯片及（jí）器件（jiàn）的“空心化”問題，公司利用蘇州長光華芯光電技術有限公司已有的高功率半導體激（jī）光芯片優勢，積極向激（jī）光3D傳感芯片，高速光通信芯片、激（jī）光照明等方向（xiàng）與領域拓展，全麵打造中（zhōng）國激光芯。因此，蘇州長光華芯半導體激光創新研究院有限公司投資20000萬元建設年產芯片3億件、光電器件100萬件、光學模塊5萬（wàn）件、光電係統1000台項目。

環評審批過程：本項目投資20000萬元進行年產芯片3億件、光電（diàn）器件100萬件、光學模塊5萬件、光電係統1000台項目建設。項目已通過蘇州高新區經濟發展和改（gǎi）革局備案，項目代碼為（wéi）2018-320505-39-03-550372。2019年11月，企業委托蘇州（zhōu）市宏宇環境（jìng）科技股（gǔ）份有限公司（sī）編製（zhì）了《蘇州（zhōu）長光華芯半導體激光（guāng）創新（xīn）研究院有限公司年產芯片3億件、光電（diàn）器件100萬件、光學模塊5萬件、光電係統1000台項目環境影響報告表》，並於2020年2月4日取得蘇州市行政審批局的審批意見（蘇行審環評（píng）[2020]90054號）。

驗收工作的（de）開展：2024年（nián）7月17日-18日（rì）、8月7日-8日和（hé）8月26日-27日，公司委托蘇州環（huán）優檢（jiǎn）測有限公司及（jí）江蘇德（dé）昊檢測（cè）技術服務有限公司對“蘇州長光華芯半導體激光創新研（yán）究院有限公司年產（chǎn）芯片3億件（jiàn）、光電器件100萬件、光學模塊5萬件、光電係統1000台項目”進行驗收監測，根據驗收監測結（jié）果及現場情況進行自（zì）主驗收，由蘇州市宏宇環境科技股份有限（xiàn）公司編製驗收調查報告。

變動情況（kuàng）：對照環評，本項目驗收氮氣櫃數量較環評增加6台，光刻、濕法刻蝕工段各式測試儀數（shù）量較（jiào）環評增加7台，以上均為輔（fǔ）助設備：此外，在生產（chǎn）工藝無變化的（de）前提下，襯底原料用5kg氮化镓（jiā）替代砷（shēn）化（huà）镓，濕法刻（kè）蝕工段使用環評未涉及的氫氧化銨；

環評中外延工序產生少（shǎo）量未反應氣體（磷烷、砷烷、矽烷（wán）、氨氣（qì））和反應生成氣體（甲烷、顆粒（lì）物）通過設備配套過濾（lǜ）器處理後，經管道輸送至洗滌塔一級處理（lǐ）（其中氨氣為堿性，單獨進入（rù）氨氣洗滌塔（tǎ）），再進入堿液噴淋塔二級處理，最後經2#生產樓屋頂的（de）25米排氣筒P1排放；

項目實（shí）際從安全（quán）角度考慮，2台以氮（dàn）化镓襯底原料、氨氣為反應氣體的外（wài）延工序廢氣經水噴淋預處理，和酸性廢氣（qì）以及設備自（zì）帶過濾器-燃燒器預（yù）處理的外延工段少量（liàng）未反應完的矽烷氣體（磷烷（wán）、砷烷、矽烷、氨氣）和反應生成氣體（甲烷、顆粒物）一同匯入堿液噴淋塔裝置處理，尾氣由2#生產樓屋頂的25米排氣筒P1排放；其餘16台（tái）化學氣相外延MOCVD設備（bèi）中每4台設備對應一套二級加藥噴淋裝置（加入次氯酸鈉、氫氧化鈉、磷酸藥劑）（共設置5套（tào），4用1備）處理後通過4根25米（mǐ）高（gāo）排（pái）氣筒排放（P3、P4、P5、P6，此外P7為備用處理設施對應排氣筒），且設置砷烷、磷烷排放在（zài）線監控報警係統；使用（yòng）砷烷、磷烷的外延廢（fèi）氣經管（guǎn）道輸送至洗滌塔和二級（jí）加（jiā）藥噴淋裝（zhuāng）置處理，尾氣（qì）由2#生產樓屋頂的25米排氣筒P3、P4、P5、P6排放（fàng）；

此（cǐ）外，項目實際對危廢中代碼有誤（有機廢液）、代碼變更（廢氣處理失效活性炭（tàn））、產生量有偏差（刻（kè）蝕廢（fèi）液）、定義有誤（光催化UV燈管）、遺漏（氫氧化銨廢堿液）等問題一並進行變動修正。

公司於2023年12月委托蘇州市宏宇環境科技股份有限公司編製《蘇州長光華芯半導體激光創新研究院有（yǒu）限公司年產芯片3億件、光（guāng）電器件100萬件、光學模塊5萬件、光電係（xì）統1000台項目一般變動環境影響分析報告》，並對廢氣處理設施的變更進（jìn）行了專家評審（shěn），對照《汙染物影響類建設項目重大變動清單（dān）（試行）》（環辦環評函〔2020〕688號），明（míng）確以上不屬於重大變動（dòng），納入（rù）驗收範圍。

（1）廢水

公司廠區雨汙水分流，項目生（shēng）產廢水主要為一般酸堿廢水、含砷廢水、含砷（shēn）拋光廢水、含（hán）砷研磨廢（fèi）水、含（hán）氟（fú）廢水、含氮磷廢（fèi）水、有（yǒu）機廢水、公輔廢水以及生活汙（wū）水，其中：

一般（bān）酸堿（jiǎn）廢水經中和預處理後，同公輔（fǔ）廢水（製純（chún）濃水、冷卻（què）排水）、食堂廢水（經隔油預處理（lǐ））和生活汙水一並（bìng）通過（guò）市政管（guǎn）網接入科技城水質淨化廠統一處理，尾水排入滸東運（yùn）河（hé）；

含氟廢水（包括堿（jiǎn）液噴淋廢水）經化學沉澱-砂濾-樹脂交換（huàn）預（yù）處（chù）理；有機廢水和含氮廢水經高級氧化-生物反應槽預處理；含砷研磨廢水經超濾和砂濾預處理後與經超濾和RO處理後的含砷拋光（guāng）廢（fèi）水一並進入化學沉澱預處理；其他含砷廢水和含氮磷廢水（shuǐ）經化學沉澱預處理；以（yǐ）上預處理後的（de）廢水合並（bìng）進入三效蒸發係統處理（lǐ），出水經（jīng）RO後回用生產係統（純水製備），無外排；濃水委外處理；

公司設置900m3的消防尾水池（事（shì）故應急水池），並在兩個雨水排口設置應急截止閥門。

（2）廢氣

本項目矽烷外延尾氣經過濾+燃（rán）燒器+堿液噴淋塔預處理；酸洗、刻蝕等工段酸性（xìng）廢氣（qì）由2套並聯堿液噴淋塔預處理；氧化尾氣（qì）由設備密閉收集後進（jìn）入設備自帶過濾器+燃燒器預處理，以上預處理後的廢氣合並由25m高的P1排氣筒排放；

有機廢氣（qì）集氣罩收集後，經（jīng）2套光催（cuī）化氧化+活性炭吸附裝置（zhì）處理（lǐ）（1用1備），尾（wěi）氣由25m高的P2排氣筒排放；

砷烷、磷烷使用工（gōng）序產生的廢（fèi）氣由設備密閉收集（jí），經五套（四用一（yī）備）過濾+二級加藥噴淋裝置（zhì）處理（lǐ）後，分別通（tōng）過25m高的P3、P4、P5、P6、P7（備用）排氣筒達標排放；

以上環（huán）節未收集到的廢氣車間（jiān）無組織外（wài）排。封裝、回流（liú）工段產生的焊接煙塵采用集氣罩收集後經（jīng）焊煙（yān）淨化器處（chù）理後無組織排放，產生（shēng）量較少，忽略不計。

項目以廠界邊界為起點設置100米衛生防護距離，目前以上範圍內無（wú）居民等環境敏感點。

此外，項目設置3個25m排氣筒用於車間內強排風及熱（rè）排風；食（shí）堂油煙經油煙淨化（huà）器處理後（hòu）屋頂外排。

（3）噪（zào）聲

本項目噪聲主要為各類研磨、焊接、切割、打磨等（děng）設備和空壓機、廢氣處理風機等運行產生（shēng）的噪聲，企業通過隔聲、減振和距離衰減等措（cuò）施，噪聲可以得到一定程（chéng）度的削弱，減小對周圍的環境影響（xiǎng）。

（4）固體廢棄（qì）物

本項目（mù）產生的固體廢物主要為危險固廢、一般工業固廢、生活垃圾。其（qí）中：

危險廢物（wù）中的廢去光膠劑、廢去光膠劑、廢顯影液（yè）、酸洗廢液、有機廢液委（wěi）托蘇州新（xīn）區環保服務中心（xīn）有限公司處置；廢燈管、刻（kè）蝕廢液委托（tuō）蘇州步陽環保科技有限公司處（chù）置；刻蝕槽清洗廢液、碳化塗層、廢濾芯、晶（jīng）圓邊角料（liào）、無塵布、危險廢物包裝、廢活性炭、含氟汙泥、含砷汙泥、廢鹽渣、廢濾（lǜ）膜、廢反滲透膜、廢堿液、在線監測廢液委托蘇州新區環保服務中心有限公司處（chù）置；

項目（mù）設置麵積30m2的危廢倉庫，位於廠區東南角，建設符合《危險廢物貯存汙染控製標準》（GB18597-2023）的要求。

一般工業固廢主要為廢金屬靶材、殘餘鍍料、殘餘鍍料（liào）、不合格（gé）品、一（yī）般廢（fèi）包裝，收集後定期委托州鑫雨豐（fēng）環保（bǎo）科技有限公（gōng）司綜合利用。

項目設置麵積100m²的一般固廢倉庫，位於廠（chǎng）區（qū）東北角，一般（bān）工業固體廢物貯存基本滿足《一般工業固體廢物貯存和填埋標準》（GB 18599-2020）。

項目生活垃圾、餐廚垃圾由蘇（sū）州鑫雨（yǔ）豐（fēng）環保（bǎo）科技有限公司收集外運處理，日產（chǎn）日清。

二、建設單（dān）位名稱和聯係方式

建設單位：蘇州長光華芯半導體激光創新研究院有限（xiàn）公司

建設地點：蘇州高新區科（kē）技城漓江路56號

聯係人：韋工

聯係電話：17312540120

郵（yóu）編：215299

三、征（zhēng）求公（gōng）眾意（yì）見的主（zhǔ）要事項

（1）請公眾提供個人準確信息主要包括：姓名、職業、文化程（chéng）度、家庭（tíng）住址及聯係電話；

（2）根據您掌握的情況，認為該項目運營對環境質量造（zào）成的危害/影響方麵及程度；

（3）您是否知道/了解（jiě）在該地區建設該項目；

（4）您認為該項目對環（huán）境造成的危害/影響程度；

（5）您對該項目（mù）環保（bǎo）方麵有何建議和要求；

（6）從環保角（jiǎo）度出發，您對該項目持何種態度，並簡要說明原因。

四（sì）、公眾提出意見的主要方式（shì）

    公（gōng）眾可以通過以（yǐ）下方式提供意見：

（1）通（tōng）過Email方式

（2）直接打電話的方式

（3）寫信的方式

五、公示時間

公眾可在本項目公示之日（rì）起20個工作（zuò）日內，向建設單位或驗收調查機構提出寶貴（guì）意見。

《蘇州（zhōu）長光華芯半導體激光創新研究院有限公司年產芯片（piàn）3億件、光電器件100萬件、光學模塊（kuài）5萬件、光電係統1000台項目竣工環境保護驗收調查表》公示期：2024年9月9日—2024年10月11日

驗收公示-蘇州長光華芯半導體激光創新研究院有限公司年產芯片（piàn）3億件、光電器件100萬件、光學模塊5萬件、光電係統1000台項目.pdf

蘇州長光華芯半導體激光創新研究院有限公司-驗（yàn）收意見.pdf